二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura MxP #9255443 待售
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ID: 9255443
優質的: 1996
Etcher
Wide body loadlock
HP Motor
OEM-12B RF Generator
(2) MxP Chambers
Orienter chamber
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura MxP是一種反應堆,設計用於半導體、光伏、LED和薄膜沈積行業的高溫高壓生產過程。該設備由工藝室和控制臺兩個主要部件組成。腔室是一個不銹鋼圓筒,帶有可移動的陶瓷套筒,在較高溫度下操作時提供了更高效的熱輸送。它可以處理高達5x10-6 torr的氣體壓力和高達1300 °C的溫度範圍。陶瓷套筒可以用來容納沈積在基板表面的薄膜。控制控制臺用於控制流程參數,它包括觸摸屏界面,因此用戶可以輕松調整設置。控制器能夠監視腔室中的所有參數,例如溫度、壓力和組成。它還支持不同的工藝氣體,並具有可擴展的模塊化設計,允許根據需要添加其他組件。AMAT Centura MxP能夠產生化學氣相沈積(CVD)和原子層沈積(ALD)等沈積過程。CVD是在高溫和高壓下將材料沈積到基板表面的過程。ALD是一種用於制造具有精確控制厚度和組成的薄薄塗層的工藝。該系統還可用於多種其他過程,如蝕刻、介電形成、晶圓鍵合。該單元具有內置的均勻性和生產均勻性控制特征,可以針對不同的材料和工藝進行調整。其先進的診斷工具可用於報警監控、機器校準和優化。直觀的觸摸屏界面允許輕松設置和安排流程。APPLIED MATERIALS Centura MxP也符合Rohs標準,在效率和安全性方面都有能源之星評級。Centura MxP是一種高效可靠的反應堆,可用於半導體、光伏、LED和薄膜沈積行業的高溫高壓過程。其堅固的結構、模塊化設計、直觀的觸摸屏界面和高級診斷工具只是使其成為生產操作的絕佳選擇的一些功能。
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