二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura NLighten NEON #9300660 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura NLighten NEON反應堆是一個下一代、高通量、外延沈積和蝕刻處理系統,旨在提高生產率和成本節約,同時提高一致性、性能和產量。Centura NLighten采用一種多通式腔室體系結構,既具有加熱基板,又具有冷卻基板,可以選擇為其他應用增加三分之一,從而最大限度地提高腔室利用率。它的溫度均勻度± 2°C,同時蝕刻均勻度± 2.5%,這有助於在不同溫度下提供比以往更好的工藝穩定性,並有助於保持持續較高的產量。NLighten利用高性能、穩健的同時沈積和蝕刻模塊提供最高級別的工藝一致性,最終提高產量和設備性能。配有22英寸或25英寸廣角視圖和多氫氣分布，可用於不同的加工需求，對沈積和蝕刻工藝控制非常精確。其CVD集群組件還具有改進的工藝均勻性，采用了汽油氧化襯裏和量身定制的氣體分配方法。對於高溫應用，反應堆提供了非凡的性能，高溫穩定性± 2°C，不需要高純度氮。這也導致循環時間大大減少。AMAT Centura NLighten NEON反應堆的設計目的是充分利用系統吞吐量,每小時可達到200晶圓（WPH）,使其成為大批量生產的理想工具,具有極低的零件損壞風險。它的占地面積也比以前少得多，最大占地面積為15平方米。應用材料Centura NLighten NEON反應堆是那些尋求高效、經濟高效和可靠的實驗室反應堆以滿足蝕刻和沈積需要的人的絕佳選擇。憑借其多用途能力、高溫穩定性和處理大批量的能力，反應堆提供了要求最苛刻的加工應用所需要的性能和效率的完美結合。
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