二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura P5000 #293651591 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura P5000是一種低壓、多反應堆、化學氣相沈積（CVD）設備，用於生產高級器件結構的高級薄膜襯裏材料，以及介電、鈍化、粘附和屏障層。這種用途廣泛的反應器為各種半導體工藝應用中的氣相沈積和後塗層退火等關鍵工藝步驟提供了高通量和優異的均勻性。該系統由多個主加工室和最多四個附加的加工室組成，用於基板的預清洗、蝕刻和後處理功能。主工藝室有兩個主要的工藝來源，通常是兩個感光器持有者，可用於沈積單一和多層材料，如氮化矽、氧化矽、氧化鋁、氧化全新、氮化鋁、碳化矽和其他屏障材料。磁感器支架的設計允許對溫度、壓力、功率和沈積速率進行原位調節。這使得在微調應用參數時具有更大的靈活性，並提供了沈積材料的均勻性。初級加工室可以容納源和基板之間長達30厘米的基板。具有閉環反饋的系統最先進的成像單元可提供實時成像,從而實現精確的層控制。AMAT Centura P5000反應器可用於柵極介電、鈍化、接觸屏障、粘附和介電薄膜沈積等多種半導體應用。該機還非常適合淺溝隔離、超淺結形成、高k沈積退火、形成矽化物接觸、粘附和表面調節等後處理功能。APPLIED MATERIALS Centura P5000在半導體制造中提供了許多優勢,包括高通量、改進的工藝控制和出色的均勻性。該工具還配備了高速負載鎖、自動遙控和簡單的流程配方等幾個用戶友好的功能，允許更大的控制和靈活性來滿足客戶需求。
還沒有評論