二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura PVD #9244056 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura PVD（物理氣相沈積）設備是一種超高真空室，設計用於使用濺射和/或蒸發進行沈積過程。該系統由兩個不同的腔室組成，一個用於沈積過程的真空沈積室和一個裝有負載鎖定軸的排氣室。真空室由反應室和源室兩個主要成分組成。反作用室由不銹鋼制成，安裝有一個上門，可打開裝卸。它還具有視口、壓力表、通風口、隔離真空閥和真空泵連接。反應室內有一塊石墨敏感板，它位於加熱器單元的頂部。源腔室是一個較小的腔室，通常用於與附著的排氣口一起蒸發。它還有一個壓力表、通風口和隔離閥.該單元由單相交流電源模塊供電，並由一系列不同的氣體和液體供電。要沈積的物料來源是由一個還連接到機器上的crucible提供。在沈積開始之前，通過使用粗糙和高真空泵的步驟來闡述真空，以創造所需的真空條件。此後，加熱器啟動，用光學高溫計監測溫度，進行精確控制。為了發生沈積，將源材料和目標材料放入適當的腔室，將氣體、液體或固體源材料加熱直至蒸發。汽化材料隨後進入反應室，凝結到目標材料上，這取決於所需的沈積速率。然後操作人員將監測材料，以確保沈積過程按照所需的參數進行。當達到所需的參數後，刀具就會通風，並在需要時打開車門卸載和重新裝填腔室。然後將腔室重新打開到大氣層，材料可以移走。AMAT Centura PVD資產是各種材料物理氣相沈積的有效模型，具有精確和可重復的結果。它能夠控制沈積速率和確保精確的塗層厚度，對於那些需要精密塗層質量的行業來說是非常寶貴的。