二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura PVD #9244068 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Centura PVD
已售出
ID: 9244068
晶圓大小: 8"
優質的: 1996
Sputtering system, 8" 1996 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura PVD(物理氣相沈積)反應器是一種用於薄膜和塗層沈積的工業工具。設備由真空室、電子束槍、磁場發生器、氣體分配系統以及加熱和冷卻元件組成。AMAT Centura PVD反應器在真空室中運行,以確保沈積過程的質量,這對於薄膜或塗層的制造至關重要。在真空室內部,一種電子束槍,又稱光源,用於將電子引導到腔室中心的陰極上。這會使一種稱為濺射氣體的目標物質的原子或分子產生離子,使它們能夠漂移穿過腔室並撞擊基板或目標材料。為了保證濺射離子的正確準直,產生一個磁場,用來引導離子從濺射氣體向底物方向移動。沈積的薄膜和塗層還需要精確的加熱和冷卻元件。在過程中,使用氣體分配單元,以確保反應堆內多種不同氣體的精確擴散。不同類型的薄膜和塗層都使用了各種氣體,例如氙氣、氧氣和氮氣。根據需要濺射的薄膜或塗層的性質,還可以使用額外的氣體來達到具體的效果。例如,如果需要磨損程度較低的塗層,則使用更大數量的氙氣來降低室內的氧氣濃度,並有助於純凈均勻的濺射。總體而言,APPLIED MATERIALS/APPLED MATERIALS Centura PVD反應器是一種用途極為廣泛的機器,可用於許多不同類型的薄膜和塗層應用。通過優化不同參數,如氣體成分、基材溫度、基材位置等,可以沈積多種材料,從而產生一系列所需的特性。該工具高效、可靠、經濟高效,是各種薄膜和塗層應用的常用解決方案。
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