二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura PVD #9266535 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura PVD是專門為生產先進電子設備而設計的物理氣相沈積（PVD）設備。該系統的構建是為了在單個腔室中提供多種處理功能,某些型號具有五個或更多配置選項。它是由沈積源和主室組成的集成反應堆單元。AMAT Centura PVD機的主室是真空工具，用於將樣品晶片放入資產中。腔室保持在基壓，以允許來自源晶片的物料均勻流動。腔室還包括一個用於為模型元素供電的電饋通，如電子束源、燈絲和卡盤。應用材料Centura PVD設備由廣泛的沈積源提供動力。最好包括電子束源，從燈絲中獲取激光能量並將其沈積到晶圓表面上。電子束可以調整以改變沈積材料的穿透深度和選擇性。二次沈積源，包括電阻源和射頻源，可用於產生多層沈積。基板通過安裝在電子機械臂上的真空卡盤牢固地固定在系統中。這使得卡盤在操作周期中的運動以及操作之間的手動定位成為可能。此外，卡盤還配有一個離子計，它能準確地讀出腔室壓力，以確保在整個沈積過程中具有很高的穩定性。最後,Centura PVD單元的各種來源和組件得到了一系列控制軟件選項和命令的補充。這包括用於增強對計算機控制的高級用戶界面系統、用於監視流程參數的選項以及從一個遠程界面操作多個系統的能力。總體而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura PVD工具是適用於各種生產環境的綜合資產。該模型允許一系列不同的沈積過程，確保生產的質量和準確性。此外,借助可定制的控制軟件和高級源代碼選項,用戶可以更好地控制其流程。