二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE #9188732 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XE反應堆是為滿足半導體工業需求而設計的精密設備。該反應器是專門為蝕刻和沈積薄膜而設計的，是許多不同生產工藝中沈積的有效工具。RTP在半導體工業中的許多應用如柵極氧化物的形成、矽化物的形成、擴散屏障和粘附層沈積、低k電介質沈積、拓撲控制。XE是反應堆的高級版本，融合了改進過程控制等幾個高級功能。AMAT Centura RTP XE是一種水平爐型反應器，具有6英寸的光束線。該反應堆有一個分段熱區設備，在每個區內提供極好的均勻性和快速循環時間。該爐具有高性能高精度沈積系統，工藝控制能力先進。Centura具有較高的沈積速率和均勻性,並具有出色的熱控制和工藝控制。它還具有低壓電子回旋共振源，即使在低壓下也能實現高水平性能和均勻性，在工藝成本上有顯著節省。RTP XE融合了雙源能力、超高精度氣體處理、先進晶圓處理和監控等先進功能。它提供了一個先進的多區域控制器，內置軟件精確的過程控制。有先進的粒子控制功能，提供了優越的和可重復的結果。此外，該單元支持晶片上的電氣探測，用於精確的過程監測和控制。該機還支持多種刀具配置,包括密度和成分挑戰材料的非氧化加熱選項。SPLIED MATERIALS Centura RTP XE是為高蝕刻和低沈積應用而設計的強大可靠的反應器。它能夠提供業界所需的速度、準確性和可重復性。其先進的特性和工藝控制能力為尋求提高工藝性能和產量的半導體制造商提供了巨大的價值。