二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE #9216582 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XE （Reactive Thermal Processing）是為高級半導體器件制造中的高性能而設計的反應器。反應堆具有完全自動化的特點，具有用戶友好的界面和過程參數，可以快速準確地編程。其功能齊全的環境支持對關鍵加工參數（如溫度、壓力和氣體組成）進行現場監控。AMAT Centura RTP XE反應堆設計有長壽命的絕緣設備，有助於保持系統內部一致的溫度和大氣。這為各種應用程序進程提供了可重復和可靠的結果。該室還采用多區加熱剖面，以便在反應堆內同時加熱多達四個不同的區域。APPLIED MATERIALS Centura RTP XE具有多種腔室尺寸,具體取決於應用程序：最大的腔室尺寸為13英寸。此外，還有可以根據工藝需要選擇的襯裏材料；選擇包括石英、石墨和不銹鋼。Centura RTP XE反應堆裝有低壓和中壓丙烷輸送裝置。這允許可重復的過程時間，因為低壓機器提供較高的丙烷速率，而中壓工具產生較低的速率。這種雙重輸送資產有助於在整個反應過程中保持穩定的壓力和溫度。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XE反應堆設計為在高溫和長處理時間的情況下堅固可靠。它既有先進的熱控制模型，也有獲得專利的大氣壓力控制技術，有助於確保在整個反應周期中輸出一致。它還具有一系列警報和安全功能,可保護設備及其用戶免受意外故障的影響。AMAT Centura RTP XE反應堆包括廣泛的輔助設備，包括氮氣凈化設備，以確保在丙烷供應出現故障時替代氣體供應，以及質量流量控制器根據需要調整氣體流量。它還具有用於均勻散熱的變速風扇和用於清除室內灰塵和顆粒等碎屑的快速清潔功能。最後，APPLIED MATERIALS Centura RTP XE反應堆配備了業界領先的CCDopticTM光學系統。該裝置通過提供精確的溫度和壓力監測以及強大的分析能力，幫助控制反應環境。這使得微調工藝參數以產生一致和高質量的結果成為可能。綜上所述，Centura RTP XE反應堆有助於先進的半導體器件制造操作實現高性能和生產率。其可靠和可重復的性質，加上其輔助設備和CCDopticTM光學機器，使其成為許多工業級應用的理想選擇。