二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE #9238004 待售
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ID: 9238004
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 8"
NBLL
(2) XE Chambers
ATM
Missing parts:
Serial isolate BD
OTF Center finder BD
Floppy driver
Hard disk drive
VGA Card
I/O Expansion card
(2) CRT Monitors
LL Door & Mapping kit
M/F Robot upper / Lower motor
OTF Emitter bank
SCR Driver panel cover
6-Wafer lift pins
(2) Edge rings
(2) Support cylinders
(2) Lift pin bellows
Lift pin cap
(2) SEKIDENKO Temperature controllers
Pumping line from chamber to isolation V/V
Chamber rotation vector controller and PCB kit
Loadlock dry pump
(6) Chamber ATM lid clamps
Damaged parts: (3) Color signal towers
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XE是一種功能豐富的高級反應堆,專為半導體和平板顯示器行業的關鍵工藝應用而設計。XE模型由大氣壓力、高真空室以及先進的晶圓工藝和溫度管理設備組成。此集成系統包含許多功能,旨在優化流程效率和可重復性。反應堆腔室內部容積為50升，由電阻墻材料制成，提供出色的熱和輻射熱均勻性。反應堆包括雙面加熱，允許在極高通量作業或需要1000˚C溫度的特殊應用中達到2000˚C的均勻工藝溫度。XE配備了氮旁路選項，允許用高純度氮或其他氣體快速清除室內大氣。它還包括各種各樣的過程控制選項,包括壓力監測器、過程氣體混合器和氣流安全監測器。XE還包括一個先進的晶圓溫度管理單元,允許在預熱和過程操作期間實現最大的均勻性。溫度管理機器確保基板之間的一致性，並在多個過程步驟。XE的過程自動化工具旨在提高吞吐量並保護諸如晶圓邊緣排除等主要路徑特征。它包含了許多安全功能,例如互鎖以防止意外打開、故障警報和閉環PID控制資產。這些特性共同提供了高水平的防輻射保護。AMAT Centura RTP XE是各種半導體和平板顯示器應用的理想工具。其先進的晶圓溫度管理模型、過程自動化功能和廣泛的可選功能相結合,為從事關鍵操作的人員提供了最佳工具。
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