二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP XE+ #9282073 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP XE+是半導體晶片低壓快速熱處理的工具。該反應堆使用快速熱循環（RTC）快速啟用和禁用晶圓內的設計特征，從而允許創建高性能半導體結構。XE+型是一種金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）系統，旨在使用戶能夠使用比早期反應堆更小的特征尺寸創建復雜的設計。XE+反應堆使用超高純度C2-F6-PF6氣體，不僅可以準確地創建特征，而且可以在多個運行過程中創建均勻性。反應堆水平安裝的熱源和超高質量的氣體輸送，加上集成的溫度控制系統，使其達到了前所未有的精度、重復性和速度水平。這是通過石英加熱的溫度區可以保持精確的溫度高達1000 °C，以及將晶片和石英抽屜沿水平方向移動的索引階段來實現循環時溫度的更大均勻性。這種快速而精確的加熱和冷卻可以進行次秒的熱循環，從而實現低熱預算處理。在操作方面，XE+可以一次處理多達兩個125毫米晶片，並且完全自動化，設計者可以控制反應堆內的所有參數。XE+還具有精確定時控制、惰性氣體凈化、自動端點檢測等功能，進一步提高了工藝精度和速度。此外,XE+還配備了一個安全系統,該系統僅在關閉和鎖定後部捕獲門時才啟用。總而言之，AMAT Centura RTP XE+是在半導體晶片上進行快速熱處理的不可思議的工具。其強大的設計、精確的控制和自動化的功能,使其成為真正的改變遊戲規則的產品,以創建高性能的半導體設計。
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