二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura RTP #9238454 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP（快速熱處理）設備是一種先進的、高度自動化的反應器，設計用於處理半導體晶片。這個最先進的系統能夠在精確的溫度範圍內快速加熱和冷卻晶片。它為各種獨特的加工應用提供了必要的速度和精度，從退火和氧化到氮化物層的快速熱生長。該單元可用於制備用於光刻塗層、蝕刻、離子註入和其他微電子過程的晶片。AMAT Centura RTP具有基於機器人運動控制的自動晶圓處理機和獲得專利的晶圓傳輸技術。這提供了每個晶片在反應堆腔內的精確定位。整個工具設計得極其可靠，具有集成的反饋和監測系統，以確保準確校準溫度和壓力。APPLIED MATERIALS Centura RTP的反應堆室由一系列鋼、鈦、陶瓷、鋁等同心層構成。它由300W鹵素紅外加熱器提供動力，用於快速熱處理。這個加熱器可以在幾分鐘內將反應室的溫度提高到1000 °C。資產還配備了冷卻模型，快速準確地降低溫度。Centura RTP通過基於Pascal編程語言的計算機接口運行。這允許對反應室參數進行精確和可重復的控制。用戶還可以創建用戶定義的進程以滿足其應用程序的特定需求。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura RTP提供了一種極其可靠和高效的晶圓加工方法。其高度自動化的設備、高效的熱處理能力以及強大的計算機界面，使其成為各種半導體處理應用的有效選擇。