二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura SA CVD #293767652 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura SA CVD（大氣壓力化學氣相沈積）反應器是一種用途廣泛、可靠的工具，能夠執行各種任務，包括低壓和高壓化學氣相沈積（CVD）。它被設計用來處理多種底物，包括矽、砷化的、多晶矽和金屬，以及諸如硼矽酸鹽、藍寶石和氮氧化物等電介質。這種反應堆的多功能性也使得在不同溫度下處理一些不同的材料成為可能，從而允許更大的靈活性。在設計方面，AMAT Centura SA CVD反應堆采用了一種加熱體積大的APCVD熔爐，為一致可靠的高精度沈積提供了環境。獨立的APCVD crucible由石墨材料加熱器加熱，由0至13 V脈寬調制（PWM）信號在高達100 kHz的範圍內供電。該加熱器有一個可調的設定點溫度控制設備，以維持用戶規定的所需溫度條件。此外，APCVD坩堝配有一個可獨立調節的溫度傳感器，可用於監測沈積過程中的熱性能。APCVD crucible還設有一個內部噴射器，以提供反應物和載氣向工藝室的持續流動。為了允許沈積參數的精確控制，APPLIED MATERIALS Centura SA CVD反應堆還配備了可調導熱調節系統。該單元允許調整反應室大氣的對流和傳導效應，從而可以更好地控制高度工程材料的沈積。Centura SA CVD反應堆還配備了高精度阻抗測量機，以確保精確測量腔室的電子密度和電導率。這樣可以更好地控制沈積參數，並為準確測量沈積厚度和均勻性提供必要的基礎。此外，反應堆還配備了自動表面清洗工具，以確保準確、均勻的沈積。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS Centura SA CVD反應堆是各種沈積應用的絕佳工具。該反應堆用途廣泛、可靠，具有許多重要特點，可確保準確、一致和可重復的沈積過程。