二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Super-E #9252317 待售
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單擊可縮放
ID: 9252317
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Etcher, 8"
Install type: Thru-The-Wall (TTW)
Cassette interface:
(2) Narrow body load locks
Fast wafer mapping
Main tool:
Wafer handling robot
Signal lamp tower
Buffer lid open / Close assembly (Manual)
Wafer on blade sensor
Optical endpoint system
Chambers:
Ch-A, B, C, & D: Super-E oxide
Ch-E: Blank
Ch-F: Orienter
Chamber configuration:
EBARA 305W Turbo controller
EBARA ET300WS Turbo pump
Chamber: P/N 0010-39736 REV A
Electrostatic chuck
HERF Match
Slit liner door
Autobias
Chamber liner
Cathode
Gas box / Gas pallet:
Standard gas panel interface
MFCs: AERA FC-D980C
CO 300 SCCM
C4F8 20 SCCM (TYLAN FC-2900 On chamber C)
N2 20 SCCM
O2 100 SCCM
CF4 100 SCCM
CHF3 150 SCCM (TYLAN FC-2900 On chamber A)
ARS 200 SCCM (AERA FC-D980CS)
Gas connection
User interfaces:
Front side monitor and light pen base
System side monitor and light pen base
System controller:
Equipment rack: (4) ENI OEM-28B RF Generators (Ch-A/B/C/D)
Chillers included:
B/E AEROSPACE 1231-CCN-DI-001 Dual channel
ATS 1231-CCN-DI-001 Dual channel
Power supply: 208 VAC, 4-Wire, 3 Phase
CE Marked
2000 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Super-E是一種反應設備，結合了優越的溫度和過程控制以及精密的設計，以達到最大效率和可靠性。該反應堆采用閉環再循環系統，在容器內保持一致的溫度，同時提供均勻且可重復的結果。加熱器單元由石英制成，比其他材料耐用和效率高三倍。這種石英加熱器是電子調諧和提供精確的，平坦的溫度控制範圍廣泛的設定點。加熱器工具通過密集的隔熱和再循環的熱傳輸介質進一步增強，以減少熱量損失。該工藝室的設計使準確的反應物體積得以處理，確保了一致和可重復的結果。蓋子由高純度石英制成，設計具有獨特的工藝隔離能力，最大限度地減少了工藝氣體與環境的接觸。該工藝室還包含一個高效氣體洗滌器，該洗滌器從工藝室中去除腐蝕性和危險副產物。標準安裝包括一套全面的監測和安全功能，以監測室內的環境狀況。這包括實時監測工藝化學品、壓力和溫度，以提高工藝安全性。資產還包括一個專門的警告模型，提醒操作員註意潛在的流程問題，幫助防止潛在的災難性事件。AMAT Centura Super-E包括自動化的過程控制軟件,可實現無縫、準確的過程控制。該軟件允許自動校準過程和產品參數,以提高效率和過程可靠性。這種用途廣泛且耐用的反應堆有一系列尺寸和配置，以滿足任何生產需求。該設備的設計目的是在最短的時間內提供可重復的結果，而且所需的維護最少。這種優越的生產反應堆非常適合復雜和苛刻的生產環境。
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