二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Tectra TxZ #9117584 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectra TxZ是一種多晶圓處理設備,可為各種高級增長過程提供靈活性和可擴展性。它是為復合半導體、光伏和光電材料的應用而設計的低壓射頻濺射系統。AMAT Centura Tectra TxZ提供先進的基材輸送,具有晶圓鏈接功能,每項任務最多可提供10個晶圓,自動光刻工藝,以及用於增強材料成分控制的各種工藝參數。它是一個高效、多合一的基材輸送和多晶圓沈積單元,重點是提高工藝靈活性和可擴展性。APPLIED MATERIALS Centura Tectra TxZ配備了兩個晶圓提升機器人、負載鎖、高真空密封系統和射頻電源。它還提供了精確校準工藝氣體和射頻功率水平的能力，以實現最佳的基板預處理、沈積速率和層均勻性。它旨在消除晶片對晶片的幹擾,同時即使在大型晶片陣列上也能提供高水平的過程重復性。該機器有全面的流程控制功能支持，包括實時流程監控。Centura Tectra TxZ還提供了廣泛的過程數據,以提高分析研究和數據分析能力。這些數據包括沈積速率、沈積厚度、增長率、溫度梯度等細節。其先進的加熱器工具允許晶片上的溫度高達500 °C，以進行工藝優化，並大幅減少生產時間和成本。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectra TxZ也滿足廣泛的清潔和安全要求，包括美國FDA制定的標準。Automated Materials Lift （AML）提供精確的晶圓到晶圓周轉,而晶圓鏈資產則優化晶圓定位和吞吐量,以實現最大效率。AMAT Centura Tectra TxZ旨在補充淺溝隔離（STI）、低溫氧化物（LTO）、T-Structure、射頻（RF）等先進工藝，以滿足半導體和光電行業的需求。