二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Tectra #293675757 待售
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ID: 293675757
晶圓大小: 8"
優質的: 2001
MCVD System, 8"
Load lock: A, B
HE (Heat Exchanger): Steel head
HP+ Robot
Wide body
SMIF
Chambers:
Chamber A: Ti (Ti-xZ)
Chamber B: TiN (TiN-xZ）
Chamber D: RPC+
Chamber E: 8 Slot cooldown
Chamber F: Orienter
Buff
Gases:
Chamber A: N2, H2, Ar, Cl2, Ar (Cl2 diluted), Ar (bottom purge), Ticl4
Chamber B: N2, NH3, Ar, Cl2, N2 (Cl2 dilution), Ar (bottom purge), Ticl4-L, Ticl4-H
Chamber D: H2, He, Ar, NF3
Dry pumps:
EBARA AA70W Chamber A
KASHIYAMA SD600PV-31 Chamber B
EBARA AA70W Chamber D
EBARA AA40W Buff
EBARA AA40W Load lock
Gas scrubber:
SHINKO SEIKI SW-50 ASM Chamber A
SHINKO SEIKI SW-50 ASM Chamber B
SHINKO SEIKI SW-50 ASM Chamber D
SYSCON Rack
Gen rack
Monitor rack
Chiller
Regulator box
Gas supply unit
HOT N₂ Controller
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectra是一個高度先進、用途廣泛的反應堆，旨在滿足各行業的需求。反應堆是專門為方便材料沈積而設計的，用於薄膜沈積、表面改性反應物等多種任務。它由超高密度石墨制成，使其具有優異的熱電性能。該反應堆的特點是提供精確溫度和流量控制的真空熱處理設備、圍繞工藝室的氣體循環以及能夠為反應物沈積創造高真空壓力的額外泵送系統。反應堆還包括一個先進的加熱單元、一個冷卻機和一個可以調節過程溫度和流量的控制工具。此外，反應堆還配備了一種特殊的電容式匹配方法，用於精確測量工藝室內的液位。為了提高性能，反應堆配有電能源、機械支架、進料器、反應物輸送資產的附件以及排氣模型等全方位配件。AMAT Centura Tectra反應堆還配備了防爆外殼、超壓保護閥、預警系統等全方位安全功能。其先進的控制設備確保了平穩可靠的運行，即使在極端的運行條件下也是如此。應用材料Centura Tectra是任何需要高性能反應堆的項目的有效解決方案。其先進的設計和功能有助於確保可靠的運行、精確的溫度控制以及改進的安全和性能標準。Centura Tectra是任何涉及材料薄膜沈積或表面改性的工藝的絕佳選擇。
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