二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Tectra #9086223 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectra反應堆是一種高度先進的蝕刻團簇工具，用於等離子體處理。它旨在為各種行業的蝕刻和沈積應用提供準確和一致的過程控制。該反應堆是研發、大批量生產的理想選擇，性能優越，運行成本低。AMAT Centura Tectra反應堆配備了一套先進的特性，使其能夠利用最新的蝕刻和沈積技術，包括Centura 3D蝕刻和沈積頭。這種磁頭是專門為了能夠使用高溫和高壓等離子體處理，允許對蝕刻和沈積過程的出色控制。頭部還具有堅固的結構，使其能夠處理極端溫度和高壓。反應堆還配備了兩個分別專用於蝕刻和沈積應用的主泵。兩者均由高性能電機驅動，確保其提供平穩高效的運行。主泵輔以幾個額外的泵，包括一個高壓低壓泵和一個用於控制反應堆內部壓力的真空泵。此外，APPLIED MATERIALS Centura Tectra反應堆具有先進的控制器，可以方便地操作和控制蝕刻和沈積過程。該控制器可用於修改反應堆內的溫度、壓力、流量、電壓和總功率輸入。控制器還允許用戶調整進行蝕刻和沈積的時間範圍。Centura Tectra反應堆還裝有離子源模塊，可用於在蝕刻和沈積過程中生成額外的離子。此模塊中的高級電源控制系統可確保離子均勻分布,從而形成均勻的蝕刻深度和沈積模式。離子源模塊還配備了幾個過濾器，設計用於過濾掉任何有害氣體或離子，並減少蝕刻和沈積操作過程中的任何汙染。總而言之，AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Tectra反應堆是一種先進的蝕刻集群工具，能夠對蝕刻和沈積過程提供高性能和出色的控制。憑借堅固的構造、強大的電機、先進的控制器，是研發、大批量生產的理想選擇。