二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP CVD #9036577 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP CVD是為大規模生產而設計的高密度等離子體（HDP）化學氣相沈積（CVD）反應器。該設備的沈積速度比傳統的CVD反應堆快10倍，從而實現了高通量生產。系統的工藝室配有一套工藝控制單元（PCU），嵌入到工藝室的墻壁中，這有助於促進和監測工藝。PCU有助於在整個等離子體增強化學氣相沈積過程中保持沈積均勻性和過程控制。該工藝室裝有兩個平行的等離子體電極，以幫助維持反應物種的均勻均勻分布。AMAT Centura Ultima HDP CVD單元還配備了一臺現場監控機,可提供對該過程的準確和即時讀數。該工具具有用於控制壓力和溫度的雙絲加載資產。它還為反應性中間體的形成和測量提供自動化支持。該反應堆還具有獨特的原位溫度和壓力剖面控制功能，旨在提供最高程度的過程可控性。該模型允許在沈積過程中對工藝室內的條件進行微調，以實現均勻性和增強性能。此外，這些設備還建立了監測和反饋系統，便於進一步優化。APPLICED MATERIALS Centura Ultima HDP CVD系統設計得非常可靠,可與多種材料兼容,包括金屬、電介質、聚合物、有機物及其組合。該單位預期壽命長，能夠工作數千小時。總體而言,Centura Ultima HDP CVD機器提供了卓越的沈積均勻性、高速沈積和過程控制。它是一種高效可靠的CVD沈積方法，能夠滿足高通量生產的需要。