二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP #145562 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP（高密度等離子體）是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，經過專門設計，提供超高等離子體密度。該反應堆具有廣泛的能力，能夠沈積復雜的金屬和介電膜，用於一系列應用。Word Count：169 AMAT Centura Ultima HDP利用CVD技術的最新進展提供了盡可能高的沈積速率。該反應堆基於獨特的密閉室設計，它提供了更高水平的等離子體安全殼和對過程的更好控制。在腔室內部，HDP配備了高密度電子回旋共振（ECR）等離子體源，能夠達到比常規等離子體源高三倍的等離子體密度。這種更高的等離子體密度允許更大的反應性和沈積速率，從而導致更短的沈積時間和更高的吞吐量。此外，HDP還配備了集成沈積均勻監控器。此監視器有助於確保沈積過程符合預設規格,從而能夠快速輕松地進行任何必要的調整。這種均勻性監測也有助於為復雜的沈積過程提供高產量和重復性，從而產生可靠和一致的沈積階段。HDP反應堆還采用了獨特的冷卻設備，有助於減少和消散等離子體產生的熱量，以便在高速度沈積過程中保持室內的均勻溫度。這種冷卻系統還有助於減少沈積單元的工作量，從而減少重新啟動次數，延長維護間隔。最後，HDP反應堆配備了先進的過程控制和診斷能力。這樣就可以快速準確地進行腔室診斷和調整沈積參數，以優化沈積過程的性能。這種先進的控制機器有助於確保沈積過程以峰值效率和產量運行。總體而言,APPLIED MATERIALS CENTURA ULTIMA+HDP是一種先進的反應堆,它利用最高級別的技術來實現最高的沈積速率、均勻性和可靠性。該反應堆非常適合廣泛的應用，為所有CVD沈積過程提供無與倫比的性能。字數：500