二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP #9166056 待售

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ID: 9166056
優質的: 1998
CVD System 1998 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP反應堆是一種先進的等離子體蝕刻反應堆,用於蝕刻工藝應用。這種高密度等離子體(HDP)反應堆是先進工藝開發、生產和研究應用的理想工具,因為它增強了蝕刻選擇性、工藝均勻性和生產率。AMAT Centura Ultima HDP配備了大容量、平行板源,具有高功率電子束、高密度等離子體發生器和氣體分布設計。這種強大的組合用於精確蝕刻,能夠容納多種工藝配置。對集成工藝參數進行了嚴格驗證,以保證性能優良。APPLIED MATERIALS CENTURA ULTIMA+HDP為用戶提供了可靠、精確和高度精確的蝕刻過程。它具有蝕刻三維結構的能力,並提供高度的選擇性,以確保準確的過程結果。該蝕刻器具有閉環控制系統,壓力和流量可調節,通過所有工藝設置提供可靠的一致性。APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP通過提高蝕刻速率、均勻性、產量和吞吐量來滿足研究和生產環境以及高科技應用的需要。這個反應堆的腔室也可以適應包括晶圓的運輸和處理,快速的細胞源性冷卻,以及來自AMAT的先進等離子體源技術。AMAT CENTURA ULTIMA+HDP為方便使用者而有許多功能。它具有低維護設計,不需要長時間的預防性維護。該反應堆實現了高水平的設備正常運行時間,使任何用戶都能輕松運行。反應堆還帶有圖形用戶界面,允許簡單直觀的操作。綜上所述,CENTURA ULTIMA+HDP反應堆是一種通用、先進的蝕刻反應堆,能夠產生高質量、可靠的結果。這座反應堆是為了滿足研究和生產應用的需求而設計的,其閉環控制系統和靈活的工藝配置使其適合任何應用。
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