二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP #9176603 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP
ID: 9176603
晶圓大小: 12"
CVD System, 12" Includes: SIP Ta Chamber CU Chamber Preclean chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP是一種多室先進的工藝反應堆,旨在滿足現代半導體制造環境的需求。該反應堆旨在提供高通量,具有先進的化學氣相沈積(CVD)能力和豐富的自動化選項。該設備專為快速吞吐量而設計,坡度速率高達10,000 °C/分鐘,能夠在低內部壓力下達到高達10 Torr的壓力,從而確保清潔的工藝環境。AMAT Centura Ultima HDP具有可持久構建的組件,包括碳化矽壁和最新的石英晶體諧振器技術,提供了工藝參數的可靠性和可重復性。APPLIED MATERIALS CENTURA ULTIMA+HDP為化學家和工程師提供了過程的靈活性,提供了一系列可從液晶觸摸屏操作的可調參數。該設備使工程師能夠完全控制CVD工藝,使他們能夠為每個腔室設置不同的壓力和溫度剖面,並提供脈沖射頻選項,以提高步速和沈積均勻性。該系統設計用於氧化物、氮化物和矽基薄膜的沈積,非常適合生產復雜的半導體基元件。CENTURA ULTIMA+HDP還具有先進的氣體輸送裝置,提供精確的氣體流量控制,能夠為每種氣體設置不同的溫度,以確保可重復性和一致性。該機器還具有多種安全功能,包括熱傳感器和超壓減壓,確保氣體釋放時的安全。Centura Ultima HDP提供了前沿沈積功能,使工程師能夠生產高質量的組件,並具有當今半導體設備所需的一致性和可重復性。
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