二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP #9183978 待售

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ID: 9183978
優質的: 2014
CVD system (2) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP反應堆是業界領先的先進沈積設備,專門為在半導體制造過程中部署高質量的先進材料而設計。該反應堆能夠以卓越的精度和性能沈積復雜的材料堆棧,提供增強的工藝控制,並能夠制造最先進的納米裝置。AMAT Centura Ultima HDP采用模塊化設計,具有擴展的組件範圍,可提供靈活、可擴展的解決方案來滿足現代生產需求。它能夠實現多種沈積技術,包括有機金屬化學氣相沈積(OMCVD)、低壓化學氣相沈積(LPCVD)和等離子增強化學氣相沈積(PE-CVD)技術。APPLED MATERIALS CENTURA ULTIMA+HDP設計具有最高的均勻性,能夠產生最佳的層沈積,而不會產生任何死點或陰影。為保證沈積性能,系統配備了多辯證石英腔、可調晶片座、大容量渦輪泵和氣體輸送單元。其自動化的壓力和氣流控制機,使材料的精確控制,可重復的過程結果,和卓越的精度。Centura Ultima HDP還采用了創新的溫度控制工具,對晶圓的溫度進行精確的監控和調節,從而提高了溫度的均勻性,精確且可重現的結果,增加了節省的時間,更好的工藝產量。APPLIED MATERIALS Centura Ultima HDP還能夠提供更快的增長速度、比許多其他沈積系統更快的周期時間,並且還提供高吞吐量。這樣可以減少設備的生產、更高的精度層和減少材料損失。其先進的工藝控制選項包括晶圓夾緊、底板溫度和偏置監控、復用,進一步提高了能力。AMAT CENTURA ULTIMA+HDP是將技術擴展到亞微米和納米級的理想選擇,是各種先進材料和應用的理想選擇。由於其準確性和可靠性,它是先進半導體制造工藝的理想解決方案,有助於確保以最高效率生產出最優質的產品。
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