二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus #9065273 待售
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已售出
ID: 9065273
晶圓大小: 8"
優質的: 1999
Etcher, 8"
(3) Chambers
Flat type
Door interlock sensor
Dome heater cooling type: yes
Ceramic ESC: WTM
Top mount remote plasma: Yes
Local match box: Yes
Heat exchanger: SMC
Dual IHC Control: Yes
Centura1 Ph 2
Wide L/L
Wafer map sensor
Wafer sliding sensor
Cool chamber slot: 8-slot
HP Extend robot: One arm
Cabinet exhaust: Top
Single line drop: Yes
Gas line feed: Top
Monitor, third: Station
SMC Chiller
Leybold Mac 2000 TMP
Alcatel ATH2300
ENI generator
1999 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus是一種化學氣相沈積(CVD)反應器,為最佳溫度、壓力和氣體均勻性而設計。這種最先進的CVD反應堆的設計目的是在各種沈積過程中提供高精度性能。AMAT Centura Ultima Plus反應堆擁有先進的熱控制設備,具有兩個獨立的溫度區,用於最優反應物均勻性和過程控制。該反應堆采用多種均勻、直接的熱處理工藝,確保了可靠、高精度的性能。此外,工藝室從兩側加熱,加速加熱和冷卻速率,以確保沈積環境的均勻性。反應堆還采用了先進的靜電充電系統,也可用於控制沈積過程中產生的粒子的速率和數量。這一過程與高效的集群工具設計相結合,允許以最高的效率進行高質量的沈積。此外,APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus反應堆配備了雙傳感器溫度控制單元,為不同氣體和反應物提供精確的溫度控制。該機器設計為在整個基板上提供高度精確和可重復的溫度剖面,確保沈積過程的均勻性和準確性。Centura Ultima Plus還具有多區域氣體控制功能,允許精確的氣流控制以優化沈積過程。這一設計特點確保反應物保持其推薦的反應物純度,確保可靠和高效的沈積過程。最後,AMAT/APPLICED MATERIALS Centura Ultima Plus的工藝室尺寸可達2000cc,可實現最大效率和最佳體積。其石英反應器管和不銹鋼工藝室壁設計耐用,在工藝過程中提供最高溫度控制和最佳膜質量。這些特性使得AMAT Centura Ultima Plus成為一個高效可靠的反應堆,用於各種沈積過程。
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