二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus #9070889 待售
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已售出
ID: 9070889
晶圓大小: 8"
HDP Chamber, 8"
DCVD Centura 1.x
Currently still attached to tool
RF Generator racks are still connected to tool and chambers
SMC heat exchanger is disconnected but still in facility area
Includes:
Gas pallet
Gas lines
Chamber interconnects
Chamber umbilicals and HX
ETO rack.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus是一種革命性的先進沈積工具,用於半導體制造過程。為實現最佳的效率和性能而設計的這種工具可以在原子水平上產生各種各樣的裝置和結構。AMAT Centura Ultima Plus配備了雙光束源,可提供出色的薄膜沈積均勻性,同時實現出色的步長覆蓋、產品可靠性和最終產品的可靠性。此外,該工具采用了PureFilm Process Control (PPPC)設備和超精密沈積控制技術,提供了卓越的AMAT均勻性。APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus由先進的RockCliff™平臺提供動力,這是一個獨特的多級離散沈積系統。該工具利用多個自動化步驟在大面積生產均勻準確的薄膜。這些自動化步驟包括在每一步點對目標物種進行特定的同時再循環,從而確保均勻的通量和均勻的薄膜覆蓋。Centura Ultima Plus還具有一個過程控制單元(PCS),用於管理沈積過程的多個步驟。PCS提供對流程變量和參數的恒定監控,以確保最佳流程執行。該機允許對工藝參數進行完全調整和控制,以實現特定沈積工藝的最佳性能。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus配備了納米加工熱源,可使溫度達到1000 °C。這種高溫是獲得最佳步長覆蓋和均勻性所必需的。此外,AMAT Centura Ultima Plus還配備了高精度機械臂,用於精確控制工具內晶片的運動,以確保均勻覆蓋和可靠薄膜。總體而言,APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus旨在滿足沈積過程的苛刻要求。其先進的雙光束源和高精度機械臂控制,在提供高通量的同時,實現了卓越的性能和可靠性。該工具是先進半導體制造工藝的絕佳解決方案,能夠生產高質量的薄膜和出色的階梯覆蓋。
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