二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus #9158337 待售
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ID: 9158337
晶圓大小: 8”
HDP Chamber, 8”
Includes:
Chamber interface parts
Gas pallet
QTY DESCRIPTION P/N
Upper chamber LID:
(1) RPS AX7670-02,06,16,19
(1) RPS Mount kit
(1) AL Gas line 0050-62134
(1) SiH4 Gas line 0050-46867
(1) Top heater 0035-00123
(1) Ceramic dome
(1) ALN Plate modification
(1) Balanced side match modification
(1) DTCU Modification
(1) Cap bank assy 0010-06403
(1) PLC Kit
(1) Ultima plus cover 0010-19262
(1) Top baffle 0200-01009
(0) Nozzles
(1) Top clean feed through 0040-86016
(1) Hinge assy
Lower chamber body:
(1) T/V Body 0020-18273
(1) Turbo throttle valve
(1) Turbo throttle Driver 0010-01369,19238
(1) Rough throttle valve 0010-09035
(1) Turbo isolation valve 3870-00117
(1) Fore line and gas line
(1) Bias match
(1) Ceramic collar 0200-18109
(1) Ceramic cover 0200-18081
(1) Cathode assy
(1) Cathode misc
(1) ESC Refurbish
(1) NC Gate valve 3870-00037
(2) RF Coaxial cable 0190-18062
(1) Ebara 1600 Turbo pump / Controller ET1600
(1) 1000 Torr manometer 1350-01131
(1) 50T Interlock switch 1270-01814 (E48W-H38)
(1) Chamber XDCR press .10-100TORR Ass'y 1320-01284 (CV7627A-05)
(1) Frorline XDCR press 10TORR Ass'y 1350-01285
(2) Gas spring 3780-02273
(1) Seal assy 3700-02320
(1) Throttle valve teflon ring 0200-18268
(1) Dual he manifold (4 Valve) 0050-40927
(1) DUAL IHC ASS'Y
(1) ORING
(1) Forline isolation valve 3870-02890 (KAV-150-P-10)
Main frame:
(1) Chamber pneumatic assy 0010-17301
(1) Chamber tray bd 0100-18062 or 18064/65
(1) Chamber tray kit 0242-01931
(1) AC Box kit 0242-70228
Generator:
(1) ENI Generator rack
(1) Seriplex bd 0190-35765/0190-35651
(1) Distribution bd 0100-18043
(1) Seriplex back plane 0190-09286
(1) Cardcage
Gas panel:
(1) Gas panel
(1) Gas panel refurbish
(1) Seriplex bd 0190-35653/0190-35762/0190-35651
(1) Distribution bd 0100-35124
(1) Seriplex back plane 0190-09286
(1) Cardcage
MISC:
(1) Clean, fitting, clamp
(1) Chamber frame
(1) MISC (GFCI, cable, accessory).
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus是一種前沿蝕刻沈積反應器，設計用於制造先進半導體器件。與前代產品相比,這種自動化設備提供了卓越的性能、更好的吞吐量和更大的統一性。反應堆室設計為極真空密封，使其能夠在5E-7 torr的底壓下運行，達到低至1E-8 torr的壓力。AMAT Centura Ultima Plus還提供了範圍廣泛的溫度設置，最高可達900°C，並且與各種蝕刻和沈積氣體兼容，包括氫、氯、氮、氧和的。該反應堆的自動晶片處理系統確保晶片安全高效地傳輸。它同時具有單晶片和批處理功能,使操作員能夠按順序設置多個蝕刻過程。單晶片掃描功能允許對每個晶片進行單獨的高分辨率控制和處理。APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus還提供永久安裝的幹式真空泵機,無需維護即可提供可靠的操作。基礎真空泵還允許超快的泵降時間，使處理時間比傳統的蝕刻和沈積工藝快90%。該反應堆還提供了一系列旨在提高準確性、安全性和易操作性的附加功能。其中包括液源再循環和測量機、集成濾波器和閥門單元，以及可編程邏輯控制器和數據采集工具，使用戶能夠實時監測所有反應堆參數和處理數據。總體而言,Centura Ultima Plus是一個高效、自動化的蝕刻和沈積反應堆,可提供卓越的工藝控制和可重復的吞吐量。該單元的設計考慮了安全性和成本,並提供了支持高級半導體制造過程所需的強大功能。
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