二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus #9159573 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus
ID: 9159573
晶圓大小: 8”
HDP Chamber, 8” Generator rack Gas panel for 1 chamber.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus是一種先進的等離子體增強化學氣相沈積(PECVD)反應器,旨在實現卓越的工藝性能和精度。AMAT Centura Ultima Plus提供了廣泛的可配置腔室組件和附加的工藝工具,包括直觀的軟件界面,以滿足現代生產需求。APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus的腔室體積大,能夠同時處理300毫米(12英寸)以上的多個晶圓。此外,其創新的溫度控制設備在整個腔室1.0攝氏度±內提供高度均勻的溫度結果。CenturaUltimaPlus配備了等離子體源配置,該配置優化了整個腔室的均勻性、均勻性和具有反應性氣體的均勻膜生長。它采用專有的電子回旋共振(ECR)技術及其業界領先的調制控制技術,以實現卓越的等離子體控制和優化的粒子生成。AMAT/APPLICED MATERIALS Centura Ultima Plus的電源調制功能可在各種工藝條件和應用中實現更高的可調性和過程控制。AMAT Centura Ultima Plus除了具有等離子體源配置和調制控制外,還能夠利用超低汙染表面處理。一個專有的高密度等離子體源集成到系統中,以實現優越的表面處理和蝕刻。此功能可確保基板上的汙染水平極低,從而提高工藝質量和產品的長期可靠性。APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus的其他功能包括先進的冷卻裝置和溫度管理,以及降低的腔室工作溫度(低至40 °C)。此外,Centura Ultima Plus包括可配置的晶圓處理機和集成的機器人裝載機系統,可最大程度地減少手動加載時間。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus強大且可配置的自動化功能使批量生產成為可能。最後,AMAT Centura Ultima Plus是生產先進電子元件的先進PECVD反應器。APPLIED MATERIALS Centura Ultima Plus具有直觀的軟件界面和創新的可配置腔室組件,可實現最精確和最具挑戰性的過程。強大的工藝控制解決方案、低汙染水平和較大的腔室體積相結合,使Centura Ultima Plus成為滿足各種生產需求的理想選擇。
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