二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X #100131 待售

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ID: 100131
晶圓大小: 8"
優質的: 2006
CVD HDP system, 8" (3) Ultima X HDP chambers 2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima X是先進的半導體應用特定沈積工具。這座多車道、下一代反應堆的設計符合先進技術節點和關鍵應用的要求。沈積設備提供先進、高精度的薄膜質量,可精確控制和重復處理過程。AMAT Centura Ultima X提供多室設計,每個室都有獨立配置的過程控制。它允許用戶選擇適當的沈積過程參數。該系統配備了高速、多區的射頻發電機,提供了前所未有的靈活性和減少的薄膜失真。Ultima X可以提供廣泛的熱處理功能,包括快速熱處理和退火處理。該單元進一步配備了先進的運動控制和過程監控套件,以獲得最佳影片性能,即使對於最復雜的影片也是如此。它包括對機器性能參數的全面監控;溫度和壓力,以及各種加工氣體。Ultima X利用氣體傳感器、質量流量控制器和熱電偶等各種傳感器和監控器之間的協作方法,確保沈積過程中的最高控制水平和質量。UltimaX附帶了先進的過程控制軟件,用於沈積過程和參數的精確控制,以及監控和報警管理。此軟件旨在保證在整個生產過程中具有高水平的可重復性能。此外,該軟件還配備了一整套統計過程控制工具。這允許用戶在沈積過程中以圖形方式查看條件如何變化,從而可以輕松進行調整以優化膠片和設備性能。該工具旨在提供低成本、高質量的薄膜和組件,並具有最高質量控制、可預測性和可重復性。利用APPLIED MATERIALS Centura Ultima X,通過資源和技術的最終結合,確保了具有質量控制的高級效率和精確的過程控制。UltimaX是確保沈積過程始終優化以提高效率和質量的有效工具。
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