二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X #9195501 待售

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ID: 9195501
CVD System, 12" Type: RPS (2) Chambers Operating system: Windows NT 2003 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima X反應堆是一種先進的錫和矽化物CVD(化學氣相沈積)系統,設計用於半導體器件制造工藝的先進材料和結構的實現。Ultima X提高了精度、CVD功能和過程靈活性,以確保制造過程可靠可靠。Ultima X采用雙端口架構,用於引入雙源/腔室材料。這樣可以加快加工時間,因為兩個基板可以同時處理。此外,雙激光蝕刻淋浴頭可更好地將反應物氣體分布在基板上,而不會對工藝造成任何幹擾。UltimaX的精密溫度控制和高靈敏度壓力傳感器保證了卓越的工藝精度和重復性。這增加了產量和一致性,因為控制壓力和溫度對於在CVD過程中獲得最佳結果至關重要。Ultima X的高級軟件套件提供了對過程各個方面的全面控制,包括氣體配方、腔室操作和自動校準。這允許用戶實時分析配方,監控關鍵流程參數,實時調整流程參數以優化流程條件。Ultima X的自動化功能允許極低的維護操作。維修作業僅限於常規清洗配管、毛細管、氣體歧管和光學端口。該系統可以完全自動化,這意味著它可以一次無人值守地運行數小時到數天,從而提高效率。為了保證工藝的穩定性,Ultima X提供了一種可調節的旁路特性,減少了工藝室內的壓力和溫度變化。旁路還有助於防止電源波動,從而提高準確性和可重復性。Ultima X中使用的所有組件都是高質量的,並為長期性能而設計。為實現最大均勻性和蒸發碎屑控制而形成的高級石英工藝室具有優異的性能。此外,電源和儀器設計為消除幹擾、降低功率噪聲、提高產品質量。APPLIED MATERIALS/AMAT Centura Ultima X是為半導體工業實現先進材料和結構的可靠、先進的CVD工具。它提供了卓越的準確性、CVD功能和過程靈活性,同時還提供了自動化和低維護操作。
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