二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X #9200053 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X
ID: 9200053
晶圓大小: 12"
CVD System, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima X是一種高性能、靈活、經濟實惠的蝕刻反應器,專為各種半導體制造工藝而設計。該反應堆提供了蝕刻溫度低、蝕刻速率高的優點,以及高溫穩定性和可重復性。Ultima X的設計是為了滿足大批量生產的需要,其環保設計和先進的設備部件。Ultima X具有三區加熱室,帶有加熱蓋,設計用於工藝溫度和氣泡點的均勻性。反應性氣體處理系統可確保關鍵氣體部件的精確輸送,而先進的遠程診斷模塊可實現遠程監控。此外,Ultima X還采用精確的Despense計量技術,可實現精確的氣流控制,從而最大限度地減少蝕刻過程。Ultima X利用了一系列蝕刻策略,包括蝕刻釋放,它提供了更高的選擇性和更好的過程控制。反應堆采用模塊化設計,便於維護和重新配置,與傳統蝕刻工具相比具有更大的靈活性。此外,反應堆設計用於極低的停機時間和維護,其集成的安全特性和過程驗證工具。此外,Ultima X還提供了一系列好處,如減少停機時間、提高吞吐量和改進批處理過程控制。綜合監測單元提供增強的過程控制和實時診斷,而輔助軟件模塊確保準確性、一致性和可重復性。該反應堆還使用AMAT專有的Process IQ軟件,該軟件可實現批處理和高級過程控制。最後,AMAT Centura Ultima X是為大批量生產而設計的先進蝕刻反應堆。反應堆提供了一系列的好處,包括低蝕刻溫度、高蝕刻速率、高溫穩定性和精確的氣流控制。此外,它還具有集成的監控機器、輔助軟件模塊和過程智商軟件.
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