二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima X #9229987 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima X反應堆是半導體工業中用於化學氣相沈積（CVD）過程和其他先進化學過程的專門工具。AMAT Centura Ultima X具有Pro- Liner™技術等專有功能,采用先進的軟件算法,實現了可重復和統一的沈積。通過Pro- Liner™特性實現了最大的沈積效率，確保了整個腔室的精確軌跡和均勻的壓力剖面。Ultima X還利用了工藝源與腔室之間獨特設計的次大氣壓差，提高了工藝效率和均勻性。直觀的7英寸前顯示器和圖形用戶界面提供了進程參數和腔室壓力的實時反饋，而多任務功能則允許用戶同時運行多個進程。APPLIED MATERIALS Centura Ultima X提供四個獨立的熱區域，允許用戶執行腔室調節、元件/工具驗證、化學放大器和多重處理。所有四個區域的熱範圍都比正常範圍寬，在處理溫度和工藝化學變化的晶片時允許更高的準確性和可重復性。Ultima X配備了精確的溫度控制設備，能夠精確控制0.5°C範圍內的溫度。此外，反應堆提供高度精確的流量控制，這有助於確保過程化學的準確劑量。Centura Ultima X提供了卓越的規格，如工藝室直徑64.5英寸，工藝室深度23.3英寸，最高工藝溫度800 °C，最大工藝壓力10托。動力系統由兩塊6kW磁體組成，可以快速加熱和冷卻工藝室。此外，反應堆的最大氣體流量為12000升/分鐘，最大BTU/小時為2.475。Ultima X是為最大的安全性而設計的,其特點是具有清潔室循環模式,該模式可監視過程條件並自動清除腔室中的任何殘留過程/化學物質,以及用於監視壓力、溫度和氣體流動的警報單元。反應堆包括各種內置的安全特性，以及一個自動聯鎖機器，防止用戶在危險過程過程中進入腔室。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima X非常適合CVD和其他高級化學工藝,提供卓越的工藝效率、可重復性和均勻性。其直觀的圖形用戶界面使其用戶友好,而其高級功能則提供了最大的安全性和精確度。AMAT Centura Ultima X具有高效的散熱範圍和精確的流量/溫度控制,可提供卓越的工藝效果。