二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9087848 待售
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已售出
ID: 9087848
晶圓大小: 8"
優質的: 2009
HDPCVD System, 8"
Wafer shape: SNNF
SMIF Interface: No
Narrow loadlock
(3) Ultima STD chambers
Chamber information
Chamber A:
Ebara ET1600W turbo pump
Chamber B:
Ebara ET1600W turbo pump
Chamber C:
Ebara ET1600W turbo pump
System monitor:
First monitor: Through the wall
Second monitor: Stand alone
Mainframe information:
System placement: Stand alone
Robot type: HP Robot
Robot blade: Ceramic
Loadlock wafer mapping: Enhanced
N2 Purge type: STEC 4400MC
Gas delivery options:
MFC type: STEC 4400MC
Valves: Veriflow 10 Ra Max
Filters: Mott
Transducers: MKS w/o display
Regulators: Veriflo
Single line drop
Top SLD gas line feed
Gas panel door: Safety wired glass
Top system cabinet exhaust
MFC:
Chamber A:
Gas #1: O2 400 sccm
Gas #2: AR 300 sccm
Gas #3: SIH4 200 sccm
Gas #4: SIH4 100 sccm
Gas #5: AR 50 sccm
Gas #6: SIH4 30 sccm
Gas #7: SIH4 10 sccm
Gas #8: NF3 2 slm
Gas #9: AR 2 slm
Chamber B:
Gas #1: O2 400 sccm
Gas #2: AR 300 sccm
Gas #3: SIH4 200 sccm
Gas #4: SIH4 100 sccm
Gas #5: AR 50 sccm
Gas #6: SIH4 30 sccm
Gas #7: SIH4 10 sccm
Gas #8: NF3 2 slm
Gas #9: AR 2 slm
Chamber C:
Gas #1: O2 400 sccm
Gas #2: AR 300 sccm
Gas #3: SIH4 200 sccm
Gas #4: SIH4 100 sccm
Gas #5: AR 50 sccm
Gas #6: SIH4 30 sccm
Gas #7: SIH4 10 sccm
Gas #8: NF3 2 slm
Gas #9: AR 2 slm
50/60Hz, 208V, 320A, 100MA
2009 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima是一種先進的納米科學研究反應堆，設計用於執行具有超高通量和超長壽命性能的復雜過程操作。該系統具有高精度、高通量的多室反應器，可精確、精確地沈積具有高工藝通量的材料，有助於實現可重復、低成本的結果。該反應堆采用氣體流速和壓力控制可調的氣混，運行壓力範圍為1000毫巴，分辨率為0.0005，用於精細處理控制。它還具有堅固、密封的密室，旨在最大程度地減少汙染風險，以便快速和方便地清洗。腔室設計優化了薄膜和分層過程的沈積均勻性，同時最大限度地減少了可能影響原本受到嚴格控制的環境的噪聲和振動。該反應堆配有現場診斷和控制系統，包括高分辨率攝像機和微波氣體分析儀，能夠對沈積過程進行自動精確控制和監測。能夠快速準確地診斷流程,使用戶能夠快速準確地解決任何問題。腔室也是機械可調的，允許調整不同參數和優化工藝。AMAT Centura Ultima專為與各種納米材料和基材材料兼容而設計,提供了柔性沈積的好處。該系統具有三級潔凈環境，保證了低顆粒環境和最佳溫度穩定性。它還附帶了一個由AMAT支持的創新方案，包括客戶應用、研究合作和納米材料培訓。所有組件，如目標持有者和沈積源，都根據用戶要求進行協調和互換，確保能夠滿足任何納米材料特有的加工需求。這座用途廣泛的反應堆已被證明是一個可靠而有力的平臺，可滿足廣泛的研發需求，提供終極的性能水平。APPLIED MATERIALS CENTURA Ultima設計多才多藝，具有可靠、可重復的結果，是先進納米科學研究的寶貴工具。
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