二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9137477 待售

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ID: 9137477
晶圓大小: 8"
優質的: 1998
System, 8" (3) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima是一種先進的等離子體蝕刻/清潔室設備,可簡化制造過程。該系統包括高真空室、射頻發生器和等離子體源等組件。等離子體源是安裝在頂室的Balor火炬。它由Balor/Balor Ultra雙端雙環形環設計組成,具有多達16個用於噴嘴冷卻的化學輸送端口陣列。腔室有一個等離子體組件來指導Balor Torch的操作,並包含了產生等離子體的變壓器和氫氙化學輸送單元。射頻發生器提供激活等離子體源的能量。RF電源可以是各種配置,而腔室也有降低等離子體壓力、提高RF功率利用率、提高蝕刻均勻性的六極磁場發生器。腔室配有各種部件,以確保均勻蝕刻圖案。為了保持內部清潔和沒有汙染物,排氣扇和過濾機循環高速清潔空氣並清除殘留和產生的顆粒。AMAT Centura Ultima配備了MRP II氣體技術工具,最多有五條氣體管線來輸送和控制室內的氣體流動。此功能使用戶能夠在不同的基板上實現更一致的蝕刻速率。腔室還有一個可選的氦氣(He)背面冷卻套件,便於控制溫度,以防止介電阻塞損壞和隨後的過度蝕刻。前置裝載機器人提供了一種通過腔室傳輸基板的簡便安全的方法,腔室設計為便於進入所有部件進行維護和更換。密室被封閉在堅固的櫃子裏,堅固的結構可以承受惡劣的生產環境並確保人員的安全。APPLIED MATERIALS Centura Ultima是一款功能強大的蝕刻/清潔工具。它是一種可靠和通用的資產,能夠提供極其統一的蝕刻輪廓和可重現的結果。其高效的氣體輸送模式和高性能射頻發生器使用戶能夠實現高精度的蝕刻和清潔,而其先進的組件和可定制的設計則讓用戶根據自己的具體需求和流程量身定制。
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