二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9157680 待售

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ID: 9157680
HDP CVD System (3) HDP CVD Chambers Ultima+ ENI Generators NOVA50A GHW50A.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima是一種功能齊全的多室化學氣相沈積(CVD)反應器,設計用於金屬和電介質的沈積。它能夠沈積各種各樣的材料,包括鋁、矽、鈦、鎢和銅。設備配備了自動化壓力控制系統、先進的監控單元和直觀的用戶界面,便於使用。Ultima還包括獲得專利的超精確壓控阻抗匹配(VCIM)機器,以確保最佳和可重復的沈積過程。反應堆的多室設計和模塊化平臺提供了無與倫比的靈活性,使用戶能夠對每個室應用不同的工藝和參數,以便為特定應用量身定制表面親水性、附著力和屏障性能。集成的溫度控制器和多個氣流源使用戶能夠精確控制沈積速率、熱分布和均勻性。此外,Ultima還提供低電接觸電阻、增強的粒子過濾以及最先進的安全特性。Ultima具有定制設計的加熱元件,可確保均勻的傳熱和最小化的熱梯度。熱元件還提供了高達950攝氏度的改進溫度範圍,使用戶在沈積過程中具有更大的靈活性。利用先進的監控和自動壓力控制,用戶可以確保一致的參數和可重現的結果。Ultima的一大好處是它的噪音最小化,這要歸功於它的專利VCIM。該工具還有助於減少維護,創造更安全、更可靠的沈積環境。Ultima還簡化了晶片的裝卸,其自動卡帶到卡帶的運動和無工具的檢修門。這確保了腔室裝卸之間的快速輕松過渡,節省了時間,減少了誤差。此外,其氣動驅動的隔離閥允許隔離反應堆的未使用部件,進一步精簡腔室裝卸。總體而言,AMAT Centura Ultima是鋁、矽、鈦、鎢和銅等材料的理想沈積資產。利用先進的監控模型、自動壓力控制、直觀的用戶界面和獲得專利的VCIM設備等功能,用戶可以享受改進的沈積工藝和設備可靠性。Ultima還提供了高達950°C的改進熱範圍和較低的電接觸電阻,以及增強的顆粒過濾和安全的裝卸,以實現最大的用戶靈活性和保護。
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