二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima #9190695 待售

ID: 9190695
晶圓大小: 12"
System, 12".
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima是一種前沿蝕刻反應器,設計用於在敏感基板上進行蝕刻、沈積和植入等復雜過程。它由多個外殼保護,提供無與倫比的安全性和清潔性。最新版本的AMAT Centura Ultima設計用於處理200毫米和300毫米晶圓尺寸,允許客戶為其工藝選擇量身定制的解決方案。反應堆具有獨特的兩級真空系統,與單級系統相比保持更恒定的壓力和清潔。這使得反應堆非常適合微電子和MEMS生產所需的關鍵過程。APPLIED MATERIALS Centura Ultima提供多種尺寸和配置,使其適合各種過程。多個氣體噴射器和加熱區提供了對工藝環境的精確控制。反應堆還提供了一個高純度的計量室,有助於實時準確監測過程。此外,可以精確調整工藝室內的溫度和壓力,以提供最佳結果。在性能方面,Centura Ultima提供了對氣流和等離子體均勻性的精確控制。這大大減少了蝕刻負載,這意味著客戶可以使用低得多的工藝條件,並且仍然可以實現較高的蝕刻速率。反應堆均勻性也得到增強,以確保整個基板的整個區域過程均勻。應用材料/AMAT/應用材料Centura Ultima是市場上最先進的反應堆之一。客戶受益於先進的兩級真空系統,精確的溫壓控制,一致的等離子體均勻性。客戶還可以從兩種晶圓尺寸中選擇一種,為其特定流程創建定制的解決方案。所有這些特性使得AMAT Centura Ultima成為敏感微電子和MEMS生產的理想選擇。
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