二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WCVD #9116744 待售
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ID: 9116744
晶圓大小: 8"
WxZ System, 8"
(2) Chambers
Loadlock: N/B
Mainframe:
Centura
Phase
Robot: HEWLETT-PACKARD
Enhanced cooling
Gas control type: VME1
Generator: OEM12B3
SBC BD: V440
Heater included.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WCVD是一種化學氣相沈積（CVD）反應器，設計用於先進材料的外延過程。用於高等級集成電路基板的緊密晶粒結構和外延的生長。WCVD利用了反應室設計的最新進展，實現了優異的性能、工藝均勻性和魯棒性。AMAT Centura WCVD具有一個垂直管反應室,該室采用水冷處理,以實現卓越的熱管理.該反應室具有可移動的射頻/直流磁體，用於廣泛的外延（晶圓生長）加工和機器操作能力。反應室還設計有氣體密封特性，如增強形狀和射頻屏蔽板，以提高操作期間的安全性。APPLIED MATERIALS CENTURA WCVD由高級控制系統提供支持,該系統提供了廣泛的過程監視選項。具有先進的溫壓控制、高精度熱管理、射頻功率和源氣控制等特點。另外，反應室內的壓力和溫度可分別維持在10毫升和100攝氏度的範圍內。在材料制備方面，AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA WCVD配備了一個鎖載室，與一個盒式裝載模塊集成在一起。這種鎖載室使晶片更容易從盒式磁帶轉移到加工室。它還具有側載口，允許直接沈積到真空室中。此外，AMAT CENTURA WCVD還配備了廣泛的附件，包括排氣泵、氣體輸送系統以及加熱和冷卻的輸送線，以加強運行。Centura WCVD是先進的CVD反應器，非常適合先進材料的外延過程。CENTURA WCVD憑借其創新的反作用室設計、先進的溫壓控制能力、高精度的熱管理以及廣泛的配件，提供卓越的性能、工藝一致性和魯棒性。
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