二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxP #9121263 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxP是一種單晶圓生產反應器,旨在為先進的IC制造市場提供高容量的工藝解決方案。WxP反應堆有三種配置-僅桶、濕或柔性。每個配置都是一個高性能、高配置的平臺,能夠滿足高級半導體生產過程的需求。該反應器的建造是為了提供靈活的技術,包括CMP、ASAT、間隙填充、電化學沈積、蝕刻、PVD沈積等等。它提供了一個高級過程變化管理(PVM)模塊,允許在生產過程中監視、預測和優化過程條件。反應堆界面的可自定義設計使工藝工程師能夠快速調整和試驗參數,以優化工藝。WxP反應堆裝有低壓化學氣相沈積(LPCVD)系統,使多晶矽、氧化矽和低k介電材料的沈積質量更高。它還裝有一個電化學沈積(ECD)系統,用於鎢沈積以及重新分配和背面填充應用。WxP反應堆具有先進的機器人技術和尺寸調整系統,以確保精確的放置和準確的散裝物料處理。此外,反應堆還具有氣閘、壓阻板和超壓報警器等多種安全特性,以確保運行期間的最佳安全。WxP反應堆以其多工藝能力提供高生產率,同時確保準確性和性能。它采用先進的運動和晶片處理技術,可實現晶片和模具級對準。它還與性能測量和檢查工具集成在一起,以檢測缺陷並提供有關過程性能的反饋。總體而言,AMAT Centura WxP是一個先進的反應堆,旨在提供高質量的結果和提高半導體生產的吞吐量。其可配置的設計和可定制的模塊使工程師能夠將反應堆設置與不同的工藝要求相匹配,同時其先進的安全功能確保安全的工作環境。
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