二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #293749330 待售

APPLIED MATERIALS Centura WxZ是一種利用深反應性離子蝕刻（DRIE）技術的行星型單晶片均勻蝕刻反應器。這類蝕刻反應器設計用於在單個晶圓上將小特征深度蝕刻成薄膜層。它在等離子體增強型化學氣相沈積過程中使用氟基和氯基氣體，在各種材料的基板上形成高縱橫比輪廓，而不會顯著改變材料的底層結構。Centura WxZ能夠以高通量速率蝕刻基板,並實現了可以縮短加工時間的優異效果。反應堆配備了可配置範圍廣泛的卡帶尺寸，允許與多個晶片和平臺兼容，以及改進的安全性和產率保護。APPLIED MATERIALS Centura WxZ包括一個革命性的設計,它簡化了對過程關鍵組件的訪問,並大大減少了整個晶圓蝕刻所需的時間。它的可配置設計還允許與現有的APPLIED MATERIALS系統輕松集成,從而能夠更快地升級和跨平臺共享系統數據。Centura WxZ采用了多種創新技術,可帶來卓越的蝕刻效果。它能夠通過使用稱為「自對齊側墻收縮」的特殊特征來產生均勻蝕刻。此功能在均勻蝕刻輪廓中提供完美的側壁。該反應器還具有定向淋浴頭收集器，可實現精確的蝕刻面分離和最小的邊緣偏置公差。APPLIED MATERIALS Centura WxZ是用於保持或增強基板初始結構和電氣特性的均勻蝕刻過程的理想工具。通過使用高通量速率和均勻蝕刻，Centura WxZ具有高度的通用性，能夠滿足各種單晶片工藝的要求。反應堆采用的先進設計和創新技術提高了安全性和產品產量保護水平。