二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #293763999 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ反應堆是為半導體制造而設計的高度通用和先進的反應堆。反應堆有一個4英寸的腔室,能夠容納較大的基板進行處理,以提高吞吐量。該反應堆具有每個循環加工一兩個基板的能力,可以量身定制,與標準的6、8、12英寸晶片或大基板配合使用,使其成為制造需求的絕佳選擇。WxZ反應堆具有先進的安全和支持系統,包括安全保護櫃和自動表面保護系統,以確保反應堆的安全和可靠運行。SSS還通過提供對工藝條件的持續監測,提供針對化學蒸氣和有害材料的保護。此外,如果任何關鍵工藝參數漂移到設置參數之外,系統將自動關閉。通過iVAC Process Developer模塊,可以輕松編程和優化流程以確保可重復性。此模塊有助於加快流程開發和維護。此外,它還提供可定制的配方控制,可用於跨多個系統開發和管理配方。AMAT的AMAT Centura WxZ還提供了全方位的高性能沈積和蝕刻材料,允許多樣化的工藝能力。利用高效、可靠和高性能的工藝,它為矽化物、氫化物和氧化物等材料提供了優越的工藝。這允許先進的沈積策略和工藝可調性以較低的成本提供高產率。除了其優越的加工能力外,WxZ反應堆采用最新的冷卻技術建造,使底物溫度保持在最佳水平。這允許極低的功耗和快速冷卻時間。最後,操作員界面可以方便地訪問反應堆參數,這有助於監測和調整過程條件。所有這些特性的結合使得應用材料Centura WxZ反應堆成為一個高度先進和通用的系統,適用於半導體制造。
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