二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9174489 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ系列反應堆是一種高性能蝕刻設備，用於半導體制造過程。WxZ反應堆是一個先進的蝕刻系統，利用等離子體技術提供快速、精確的蝕刻，對基材的損害最小。AMAT Centura WxZ設計用於處理直徑從6英寸到32.5英寸不等的晶片。它具有一系列工藝模塊，包括高電流離子束蝕刻、反應性離子蝕刻（RIE）、RPCVD、SPCVD和PECVD。應用材料Centura WxZ反應器由一個帶有旋轉電極的腔室組成。這個單元能夠處理高通量的過程，如蝕刻和植入各種材料到晶片的表面。它還能夠提供非常均勻的蝕刻輪廓,消除邊緣的過度蝕刻,並消除最終產品中的「邊緣效應」。該機器還提供了高級自動化軟件包。這個包包括一個氣體控制臺，集成晶圓轉移機器人，和等離子體增強型化學氣相沈積（ECD）工具。此自動化軟件包旨在最大程度地減少交叉汙染,減少流程之間的變化,並提供更好的資產控制。Centura WxZ能夠實現多種材料的高品質蝕刻，包括矽、移植物、砷化氙和各種介電材料。它通過高級軟件界面進行控制，使用戶能夠輕松調整工藝壓力、流量、蝕刻速率和基板溫度等參數。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ還具有先進的安全模型。這種設備的設計是為了防止室內的任何汙染，並提供溫度和壓力調節。安全系統還監控工藝加熱器、壓電晶體和等離子體的完整性。它還監控功耗，這有助於優化其能耗。AMAT Centura WxZ反應堆為各種應用提供了各種半導體材料的可靠、快速和精確的蝕刻。其先進的自動化封裝、高性能蝕刻單元和安全機器使其成為精密蝕刻的理想選擇。