二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9198276 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ
ID: 9198276
晶圓大小: 6"
WCVD system, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ Reactor是一種高性能沈積系統,旨在使材料研究人員和inovator能夠生產高級塗層和超純薄膜。AMAT Centura WxZ反應器具有專有的等離子體增強化學氣相沈積(PECVD)工藝,允許在一次運行中多層沈積。這一過程利用反應性氣體、等離子體和熱量的混合物,將各種金屬、絕緣材料和化合物的薄膜沈積在基板上。該工藝還可用於將物料沈積在現有物料上,而不會損壞底層基板。反應堆還配備了高分辨率的沈積映射系統,可以精確定位和沈積薄膜。制圖系統簡化了沈積過程,確保了整個基板的最高均勻性。應用材料Centura WxZ反應器針對Si、Ge、III-V化合物半導體等各種基板上外延膜和超晶格的生長進行了優化。它還具有良好的膜厚度、組成和形態均勻性。此外,薄膜厚度的均勻性使得它非常適合多層、異質結構和納米結構的沈積。反應堆設有高分辨率計量系統,包括薄膜厚度表征、表面地形表征、光譜橢圓偏振和透射電子顯微鏡。計量系統提供有關薄膜性能的詳細信息,以實現最佳生長優化和過程控制。Centura WxZ Reactor還提供了廣泛的輔助設備,如自動盒式裝載系統、自動流體系統、原位清洗系統和熱控制系統。這種輔助設備可以有效地操作和優化晶片的處理。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ Reactor可靠易用,使研究人員和創新者能夠快速獲得所需的高沈積速率和出色均勻性的薄膜。利用最新技術,該反應堆提供了性能和效率都很好的薄膜。
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