二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9203350 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ是為半導體制造中的沈積而設計的工藝反應器。反應堆能夠進行物理氣相沈積（PVD）和化學氣相沈積（CVD）過程。它具有雙大體積反應量,可提高處理吞吐量和靈活性。該系統配備了射頻發生器和射頻等離子體源，使均勻、高質量的薄膜具有低顆粒水平。WxZ反應堆還具有用於基板旋轉的真空卡盤，以及帶有高端質量流控制器的自動氣體進料系統和對工藝參數的自動現場監測。高精度的溫度和壓力控制系統確保了一致的、可重復的結果。此外，WxZ反應器的設計能夠提供卓越的溫度均勻性，最大限度地減少整個基板表面的可變性。這保證了在大型基板上高質量的薄膜生長。WxZ反應堆的設計目的是提供最高程度的過程控制和精度。復雜的工藝監控功能能夠實時檢測薄膜厚度和其他關鍵工藝參數。它旨在最大限度地提高吞吐量,並最大限度地減少消耗。該系統還提供工具訪問監控和紫外線（UV）輕型安全鑰匙打印,以增強安全性。WxZ反應堆與一系列工藝化學體系兼容，允許半導體制造具有最大的靈活性。這包括離子束蝕刻（IBE）、反應性離子蝕刻（RIE）、原子層沈積（ALD）和電化學應用等過程。該反應堆由堅固、優質的材料構成，確保了可靠的運行和延長了產品壽命。此外，它的密封室設計便於維護，並有助於防止汙染和確保過程的可重復性。AMAT Centura WxZ是實現高質量薄膜的可靠工具,具有卓越的工藝控制和更高的效率。
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