二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9251453 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ是一種用於薄膜沈積的化學氣相沈積反應器。AMAT Centura WxZ可使薄膜沈積在各種不同的基板上,因為它對控制薄膜生長的參數提供了高度的控制。它具有多個Mega團簇源，允許單獨材料的汽化，從而導致材料在基板上的共沈積。溫度區介於50至1000攝氏度，其單色儀為表面塗層提供增強的光譜控制。該系統還具有高流量氣體處理系統，能夠輸送各種各樣的高壓加工氣體，如氯、蠟、氮。APPLIED MATERIALS Centura WxZ是一種高度通用的薄膜沈積工具,非常適合從金屬和有機薄膜到高k電介質和高級薄膜堆棧等多種應用。刀具組件包括頂部和底部電極、中央射頻源、上下定向套件、上下腔室和支撐架。該腔室提供一個可關閉的開口和多個石英視孔，以檢查沈積過程或基質腔室。它配備了多臺聯網計算機和自動化系統，使用戶能夠控制基板位置、腔室溫度和惰性大氣。Centura WxZ還包括一個先進的過程控制系統，利用熱監測來確保適當的基板位置、統一的過程和快速的周轉時間。它為後處理提供了廣泛的選項,包括光刻、離子銑削和蝕刻、熱幹燥等。此外，該工具可用於研發目的和擴大生產過程。總體而言，AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ是一種可靠和通用的薄膜沈積工具，用於研發、晶圓和基板薄膜沈積以及其他先進的後處理應用。它提供了一個用戶友好的環境，具有先進的能力和參數控制，使研究人員能夠取得高質量和可靠的結果。