二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9273065 待售
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ID: 9273065
晶圓大小: 8"
優質的: 1997
WCVD System, 8"
(2) Chambers
LL Type: Narrow body
Chiller: AMAT 0 Heat Exchanger
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ是為電力/邏輯/SRAM嵌入式內存設備制造而設計的先進氧化物反應器系統。該反應器用於從初始晶片清洗、薄膜沈積(例如SiO2)和植入提供單面晶片工藝。利用集成傳輸系統,AMAT Centura WxZ可以在單個腔室中執行多個過程,或者在腔室之間移動晶片以實現多腔室集成。這種高效的系統能夠在極低的沈積溫度下生產出薄薄的氧化物層。APPLIED MATERIALS CENTURA WxZ的法拉第磁控管濺射器在整個晶片表面提供了一個均勻的過程,使得以令人難以置信的精確度創建寬達30nm的結構成為可能。Centura WxZ的模塊化設計允許用戶定制反應堆,以滿足他們個人的需求,同時保持一致的過程。利用模塊化組件可以靈活地與金屬沈積和原子層沈積等其他工藝步驟集成。其他獨特的功能包括高吞吐量、低溫處理、快速處理時間以及高級控制和數據采集系統。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ允許客戶根據特定應用程序使用各種工藝選項。這些包括清潔、熱氧化、氧化和氮化退火、快速熱退火系統、植入後退火和後清洗過程。AMAT Centura WxZ還附帶了一個高級控制軟件包,它提供了易於使用的用戶界面和對實時可編程數據的訪問。這些數據可用於優化工藝條件和保持工藝一致性。APPLIED MATERIALS Centura WxZ是一種多功能、業界領先的反應堆,在節省空間的環境中提供卓越的性能。它結合了高生產率、精確的溫度控制和出色的可靠性,以確保高產量和降低擁有成本。隨著Centura WxZ效率和靈活性的提高,設備制造商現在可以以最高的產量生產集成電路。
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