二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XE #293775905 待售
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ID: 293775905
Rapid Thermal Processing (RTP) system
SMIF
ATM
Loadlock
HP Robot
(3) Chambers
(2) SMC Chillers
(2) ASYST LPT 2200 SMIF Loaders
EBARA AA20N Pump.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XE是一種高度先進且用途廣泛的等離子體增強化學氣相沈積(PECVD)反應器,用於半導體制造過程。這種尖端工具是專為將各種材料的薄膜以高精度和均勻性沈積在基板上而設計的。AMAT Centura XE提供卓越的工藝控制、靈活性和可靠性,使其成為全球半導體制造設施的首選。APPLIED MATERIALS Centura XE的核心是其創新的腔室設計,為通過PECVD沈積薄膜提供了最佳環境。腔室配有多個氣體入口、射頻等離子體源和溫度控制系統,以支持廣泛的沈積過程。系統的晶圓處理機制允許同時處理多個基板,提高吞吐量和效率。Centura XE的主要功能之一是其高級流程控制功能。反應堆配備了最先進的質量流量控制器、壓力傳感器和射頻發電機,可對氣體流量、腔室壓力、等離子體功率、溫度等關鍵工藝參數進行精確監測和調整。這種控制水平確保了一致的薄膜質量和可重復性,對於大容量半導體生產至關重要。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XE也具有很高的柔韌性,能夠沈積多種薄膜材料如二氧化矽、氮化矽和低k電介質。該系統支持熱沈積和等離子體增強沈積過程,為用戶提供各種定制膠片屬性以滿足特定設備要求的選項。此外,反應堆可以很容易地針對不同的薄膜厚度、沈積速率和薄膜成分進行配置,使其適合於半導體工業中的各種應用。在可靠性方面,AMAT Centura XE是為了滿足半導體制造環境的嚴格需求而打造的。反應堆堅固的結構、先進的監控系統和自動化維護功能可確保延長的正常運行時間和最小的停機時間,從而降低生產成本並最大限度地提高生產效率。該系統還具有易於維護和維修的特點,它具有易於訪問的組件和診斷工具,便於快速故障排除和修復。總體而言,APPLIED MATERIALS Centura XE是一個最先進的PECVD反應堆,為半導體行業的薄膜沈積設定了新的標準。其先進的特性、無與倫比的工藝控制、靈活性和可靠性使其成為尋求為其最新設備技術實現高性能和一致薄膜沈積的半導體制造商不可或缺的工具。Centura XE憑借其先進的功能和良好的業績記錄,繼續成為全球領先的半導體制造工廠的首選產品。
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