二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XE+ #9236897 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XE+Reactor是一種先進的半導體制造系統,旨在實現高性能以及針對高級設備工藝的定制。它為多平臺流程需求提供了極大的靈活性。它將增強的流程與通用且經濟高效的平臺相結合。XE+的強大設計提高了系統性能,並確保了可靠的流程結果。AMAT Centura XE+允許制造微電子器件,例如晶體管和互連。XE+反應堆基於最新的AMAT Centura設計,采用單渦輪泵浦金屬源堆和兩個獨特的中渦輪泵。金屬源堆棧配有先進的雙噴嘴PVD組件,在晶圓表面上提供了優越的金屬均勻性。PVD組件利用優化的薄膜幾何形狀,允許改進特征大小和間距控制。中型渦輪泵的使用使得半導體特性的進一步小型化成為可能,從而實現了設備技術的最大可擴展性。XE+反應堆還設計用於先進的晶圓級工藝控制和優越的工藝魯棒性。高級過程控制系統最大限度地提高了工具的性能和產量,同時提供了針對不同產品類型調整多種不同配方的工具設置的靈活性。該平臺允許快速制造各種尺寸和體系結構的設備。XE+允許快速生產能夠最大限度地節省成本並提供最優質產品的設備。XE+反應堆是當今先進半導體制造的重要工具。它提供了高水平的靈活性和定制,優越的晶圓級工藝控制和優越的工藝魯棒性,以及出色的特性尺寸和音高控制。它是廣泛應用(包括MEMS、IC和邏輯)的理想解決方案。XE+是先進半導體器件制造的寶貴工具。
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