二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XP #9201763 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XP反應堆是一種用途廣泛的加工設備,旨在滿足當今高生產率半導體制造的需求。這一設備能夠處理高級和舊式流程,在不同技術之間轉換時提供了出色的靈活性和可擴展性。AMAT Centura XP能夠執行各種不同的過程，包括沈積、蝕刻和化學氣相沈積（CVD）。該系統還提供先進的過程監測和控制，包括計量、晶圓斷裂檢測和故障審計選項。APPLIED MATERIALS Centura XP提供出色的熱控制,包括自動晶圓傳輸支持,允許快速循環時間和可重復結果。Centura XP反應堆具有雙負載鎖和自動原位負載鎖（ISLL）選項,以及可編程、模塊化和可擴展的平臺,因此提供了卓越的靈活性和準確性。這使用戶能夠根據自己的特定需求配置設備,並確保最大程度地控制流程。此外,該機器還具有高壓氣體和液態PRGD、集成的安全檢查和聯鎖、自動壓力和溫度監測,以及具有多種選項（根據應用類型而定）的加熱工具。AMAT/APPLICED MATERIALS Centura XP反應堆的設計具有最大的可靠性和正常運行時間,並具有廣泛的集成功能。它支持多達24個配方級別、即時調節、氧氣、氦氣和氮氣凈化，並與一系列先進的工藝配方兼容，如下遊反應物進行蝕刻和表面損壞。此外，該資產包括20英寸的集群工具，最多可同時在最多6個晶片上應用5種配方，而自動卡帶到卡帶（CTC）傳輸模型確保了可靠的晶片傳輸周期。該設備的結構采用鏡面拋光元件，減少了微粒的產生，並最大限度地提高了性能和吞吐量。此外，AMAT Centura XP反應堆是為低成本、高體積的過程重現性和出色的微粒控制而設計的。為了最大限度地提高可靠性和正常運行時間，系統配備了自動化的過程驗證層，允許快速的錯誤檢測和糾正。其他功能包括車載預防性維護單元,以及自動報警和故障安全系統。機器還可以配置為自動適應等離子體條件的變化，減少對手動、勞動密集型調整的需求。
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