二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XZ #9093325 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XZ反應堆是一種PECVD設備，設計用於高級半導體和光電器件的高生產率制造。該系統具有高度集成的操作控制以及自動裝卸功能。該單元可配置為最多提供三個獨立的工藝室，每個室由一個專用的高頻電源支持。每個腔室都配備了電位穩定器技術，允許精確控制等離子體參數以進行有效的蝕刻速率/選擇性控制。AMAT Centura XZ反應堆提供了生產CMOS器件、MEMS結構、MEMS元件和單晶矽半導體器件的靈活平臺。該機能夠進行超高沈積（UHD）工藝，並配有高壓射頻發生器（HV-RF），在PECVD工藝中改善表面均勻性。該工具的編程沈積控制資產（DCS）提供了整個晶片中薄膜厚度的精確控制和可重復性。應用材料Centura XZ反應堆具有一系列創新工具,可增強過程控制和性能。這包括用於原位摻雜的自動摻雜劑輸送模型，它可以最大限度地減少物質損失，並確保重復的摻雜濃度。該設備還通過利用單室或多室配置中的各種反應性氣體混合物，支持精確的蝕刻控制。此外，該系統在廣泛的沈積溫度範圍內提供統一的沈積速率，最大限度地提高產品質量。該反應堆設計用於快速啟動工具和易於操作，從而能夠更快地生產晶圓。該單元是模塊化和高度自動化的，減少了裝卸晶片的復雜性，為人員提供了一個安全的環境。該機還具有互鎖等內置安全功能，以防止高壓和汙染事件。Centura XZ反應堆是一種創新工具，為先進的工藝需求提供一系列解決方案。它設計為通用,可配置為滿足各種應用程序的特定要求。該資產提供了精確的過程控制、高均勻性沈積率，以及整合原位摻雜以實現無縫摻雜濃度控制的能力。AMAT/APPLICED MATERIALS Centura XZ反應堆是先進半導體和光電器件高效制造的理想選擇。