二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #146827 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆是半導體器件制造和等離子體加工最先進、最可靠的系統之一。它是半導體器件制造中研發和生產應用的一種高度靈活的工具。設備主要有兩個部件：第一個是由一系列石英或不銹鋼板組成的真空室，可以用惰性氣體加壓，通過它可以穩定真空。第二個部件是陰極組件，它容納陰極材料，可以插入腔室產生等離子體。此外，它還有一個射頻發生器，為等離子體供電，以及一個氣體供應系統，用於接納過程氣體進入腔室。AMAT CENTURA反應堆中的射頻發生器是一種能夠控制功率輸出的高壓模塊。這允許操作員微調操作參數並選擇最佳電源控制設置。射頻發生器還處理施加在晶圓上的偏置電壓的控制。射頻發生器也連接到腔室的底板，起到屏蔽作用，有助於防止對電路的幹擾。供氣機組也是APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆的關鍵部件。它通過一組輸入和輸出閥與真空室相連，用於將氧氣和氮氣等工藝氣體引入腔內。然後將這種氣體與工藝材料混合，在室內重新循環，以保持適當的溫度和壓力控制。CENTURA反應堆中的陰極組件由一組電極組成，這些電極由機械和電氣部件組合固定在適當的位置。這些電極負責在腔內形成等離子體，使用的電極類型和組合因應用不同而不同。陰極組件可以定制，以適應用戶的特定需求。最後，AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應器的腔室也是高度可調的，可以編程為增加或降低腔室內的溫度和真空水平。這可以讓用戶達到所需的操作條件，從而可以大幅提高流程的產量。綜上所述，AMAT CENTURA反應器是一種用於半導體器件制造和等離子體加工的可靠、通用的機器。它提供了支持研發和生產應用的出色功能組合,以及一組可靠的功能,如射頻發生器、供氣工具和陰極組件。所有這些組分結合在一起，使應用材料CENTURA反應堆成為半導體器件制造和等離子體加工中最受歡迎的選擇之一。