二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #146828 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA是一種用於制造微電子器件的高溫反應器。它可以用來在半導體基板上沈積各種薄膜，包括絕緣體和導體。AMAT CENTURA由高溫級陶瓷、不銹鋼和其他熱元件組成,可承受制造所需薄膜所需的高溫。它由包含一個工藝室、電子束槍和冷卻元件的外殼組成。在加工室內有一個基座，基座上可以放置基板。基板被電子束槍加熱，電子束槍用電子轟擊基板表面。當光束被引導和聚焦穿過基板時，熱量產生，材料開始熔化，最終從基板表面蒸發。該工藝室具有兩個氣源，可用於向工藝室內部提供大氣。一個氣源指向薄膜沈積區域，而另一個氣源指向杯環，可以為基板提供額外的冷卻。加工室內部的溫度可達800 °C的溫度。這種加熱的氣氛允許膜沈積迅速發生，允許更高質量的膜沈積在基質上。此外，大氣層可以以0.1°C的精確度進行控制，允許根據期望的結果沈積各種薄膜。APPLIED MATERIALS CENTURA的尺寸和重量使其非常適合在清潔環境中處理。它能夠處理直徑不超過200毫米的基板,並具有易於使用的液晶屏,用於控制工序室內的工序。CENTURA是一種高溫反應器，最適合制造具有優質薄膜的微型器件。它能夠承受高達800 °C的溫度，並能以0.1°C的精度提供對工藝大氣的精確控制。此外，它很容易安裝在潔凈室環境中，並且可以容納直徑不超過200毫米的基板。