二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #196641 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA
已售出
ID: 196641
HDP CVD system, 8" (2) L/L chambers (1) Buffer chamber (1) Cool down chamber (CH-E) (1) Flat (CH-F) (2) HDP-CVD chambers (CH-A/C) (2) DxZ chambers (CH-B/D).
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor是AMAT生產的特種工具,AMAT是半導體制造設備的領先制造商。AMAT CENTURA Reactor專門設計用於生產集成電路(IC)器件。它用於氧化、沈積、蝕刻、退火、離子植入和預清潔等一系列應用。應用材料CENTURA反應器由一個堅固的不銹鋼外殼組成,裏面裝有氣密外殼、晶圓處理裝置和必要的控制系統。反應堆的主要部件包括一個石英工藝室、一個真空設備、一個射頻(RF)發生器和允許產生等離子體的射頻電纜,以及一個保持腔室清潔的原位清洗系統。專門的石英組分也增加了CENTURA反應堆的結構及其加工能力。為了確保最大程度的均勻性和可重復的工藝結果,AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反應堆采用了獨特的工藝控制單元,能夠在操作過程中準確控制工藝室內的壓力、溫度、流量和其他變量。AMAT CENTURA Reactor高度可定制和可配置,使用戶可以根據自己的特定應用要求輕松配置機器。該反應器可用於支持多種功能,包括鋁/銅沈積、多晶矽層沈積、矽化物沈積和多晶矽摻雜蝕刻。此外,APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor能夠處理大尺寸模具,從而提高吞吐量和提高產量。CENTURA反應堆還包括各種安全系統,如氣體安全聯鎖和腔室衛生,以確保安全可靠的操作環境。這些安全系統還有助於防止因汙染和生產力損失而造成昂貴的維修。此外,AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactor可以與幹泵和冷卻器等其他設備接口,以提高加工能力。總體而言,AMAT CENTURA反應堆是一種先進可靠的集成電路生產工具。它旨在滿足半導體行業嚴格的質量要求,如可重復性、準確性和操作安全性。此外,它的可自定義和可配置功能使用戶能夠根據其特定要求輕松調整該工具,從而提供了提高吞吐量和提高產量的巨大潛力。
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