二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293600348 待售
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ID: 293600348
優質的: 1997
Metal etcher
Mainframe
(2) DPS Chambers (Poly and metal)
(2) R2 Chambers
(2) ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Transfer pump / loadlock pump
(3) BOC EDWARDS iH80 Dry pumps
(3) NESLAB HX-150 Chillers
HP Robot
Narrow body load locks
AC and generator rack
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA WAFER Reactor（AMAT CENTURA）是一種金屬沈積工具，設計用於在多種材料中產生復雜的晶圓圖樣。該工具可用於沈積金、鋁、鈦、鉻、鎢等材料。APPLIED MATERIALS CENTURA使用低成本化學氣相沈積（CVD）和化學機械平面化（CMP）技術，生產出高度均勻、細微特征的金屬結構。CENTURA采用高效的總腔室設計,增強了晶圓重排、晶圓性能和腔室利用率等工藝能力。這種高效的設計采用了雙循環CVD設備，能夠在更短的時間內處理更多的晶片。Dual Cycle CVD可以同時處理多達16個晶圓，允許同時多次沈積不同的材料。此外,雙軌CMP模塊允許增加吞吐量,從而在均勻性、平面性和金屬化方面取得優異的效果。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA提供了前所未有的靈活性和精確度,允許用戶存放、蝕刻和拋光最復雜的細節。CVD系統配備了先進的晶圓計量單元，實時評估模式特征。這為用戶提供了前所未有的對其過程的控制,並為高度詳細的特征提供了準確的沈積參數。此外，AMAT CENTURA還包括一個動態溫度映射功能，以準確地映射所有基本工藝區域的溫度分布。此外,APPLIED MATERIALS CENTURA還配備了高級安全功能和許多有助於優化工藝條件的工藝工具。該工具包括一個「傳感器安全」監控機器和彈出晶片真空去除晶片。該工具的其他特點包括粒子檢測資產、真空壓力監測模型和用於晶圓處理的高度可靠的機械臂。CENTURA提供卓越的精度和可重復性,提供卓越的晶圓表面均勻性.該工具還可以完全自動化,並作為靈活制造過程的一部分與其他工具集成。這種靈活性使用戶能夠整合他們的過程並控制整個生產過程。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA具有先進的特點和直觀的操作，是精密沈積和拋光優質晶片的理想工具。
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